Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm

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SYOE: Symposium Organic Thin Film Electronics: From Molecular Contacts to Devices

SYOE 8: Poster Session SYOE

SYOE 8.91: Poster

Dienstag, 27. März 2007, 18:00–20:00, Poster B

Organische Feldeffekttransistoren auf flexiblen Substraten — •Stefan Richter¹, Matthias Plötner¹, Wolf-Joachim Fischer¹, Xuan-Dung Dang² und Waldfried Plieth² — ¹Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik, 01062 Dresden — ²Technische Universität Dresden, Institut für Physikalische Chemie und Elektrochemie, 01062 Dresden

Ziel der Arbeiten ist der Aufbau organischer Feldeffekttransistoren (OFETs) auf flexiblen Unterlagen mit kostengünstigen Techniken. Schwerpunkte sind die Entwicklung und Präparation geeigneter Referenzsubstrate zur Charakterisierung der organischen Halbleiter, ihre Strukturierung und Kontaktierung sowie die Gesamttechnologieentwicklung auf flexiblen Substraten. Im Ergebnis werden OFETs vorgestellt, die in Gate-unten-Anordnung auf Polymerfolien mit Al-Metallisierung aufgebaut werden. Diese dient als Gate-Elektrode und wird an der Oberfläche anodisch zu einem dünnen hoch-DK-Dielektrikum (є_r=8..12) oxidiert. Aus der großen Gatekapazität resultieren kleine Steuerspannungen. Das Oxid zeichnet sich zudem durch einen hohen spezifischen Widerstand (ρ=1..2*10¹⁴ Ωcm) und große Durchbruchfestigkeit aus (E_BD=6..8 MV/cm). Als Source- und Drain-Elektroden dienen Goldstrukturen. Organische Halbleiterfilme aus Thiophenderivaten werden aus Lösung entweder ganzflächig durch Schleudern oder strukturiert durch Tintenstrahldruck aufgebracht. Die mit Tintenstrahldruck erzeugten Bauelemente weisen gegenüber den ganzflächig beschichteten deutlich verringerte Leckströme auf und erreichen Feldeffektbeweglichkeiten von bis zu 2*10⁻³ cm²/Vs.