Regensburg 2007 – wissenschaftliches Programm
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VA: Fachverband Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 3: Vacuumnanoelectronics: fabrication, properties and applications
VA 3.6: Vortrag
Montag, 26. März 2007, 16:10–16:40, H9
Untersuchungen zur Vakuumdruckmessung einer BAG mit CNT-Feldemissionskathode — •Wolfram Knapp1, Detlef Schleussner1 und Martin Wüest2 — 1Otto-von-Guericke-Universät Magdeburg, IEP, Universitätsplatz 2, D-39106 Magdeburg, Deutschland — 2Inficon GmbH, Alte Landstr. 6, LI-9496 Balzers, Liechtenstein
Seit dem Vorschlag von Baptist, Feldemitterarrays (FEAs) mit Microtip-Kathoden [1] als Elektronenquellen in Vakuummessgeräten einzusetzen, ist über ein Jahrzehnt vergangen, ohne das nennenswerte Anwendungen erzielt werden konnten. Die Ursachen hierfür sind die kostenintensive Herstellung der FEAs im Vergleich zu Glühkathoden und die Anfälligkeit der Microtips gegenüber den Vakuumbelastungen. Ausgehend von Grundlagenforschungen zur Stressbelastung von CNT-Feldemittern mit erfolgsversprechenden Ergebnissen [2], werden eigene Untersuchungen zum Einsatz von Elektronenquellen mit CNT-Feldemittern, externer und eigener Fertigung [2], in einer Bayard-Alpert-Messröhre mit Emissionsströmen bis 1 mA und einer oberen Druckmessgrenze von über 1 Pa vorgestellt, mit gleichwertigen Untersuchungen von Dong [3] verglichen und einige Besonderheiten und Vorteile im Vergleich zur BAG mit Glühkathode diskutiert.
[1] R. Baptist et al., J. Vac. Sci. Technol. B 14 (1996) 2119.
[2] W. Knapp et al., Appl. Surf. Science 251 (2005) 164.
[3] C. Dong et al., Applied Physics Letters 84 (2004) 5443.