Dresden 2009 – wissenschaftliches Programm

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SYSO: Symposium Self-organizing Surfaces and Interfaces

SYSO 3: Self-Organizing Surfaces and Interfaces - Posters

SYSO 3.17: Poster

Mittwoch, 25. März 2009, 17:30–19:30, P3

Nano-Diamantdrähte: Fabrikation und Charakterisierung für Anwendungen in der Elektrochemie — •Waldemar Smirnov, Armin Kriele, Marco Wolfer und Christoph E. Nebel — Fraunhofer-Institut Angewandte Festkörperphysik, Tullastrasse 72, Freiburg 79108, Deutschland

Chemische und biochemische Sensoren der nächsten Generation erfordern signifikante Verbesserungen in Sensitivität, chemischer Stabilität und Bio-Kompatibilität, um zukünftige Bedürfnisse in diversen Anwendungen zu erfüllen. Seit einiger Zeit stehen vertikal ausgerichtete Nano-Drähte aus Diamant zur Verfügung. Diese sollten herausragende chemische Beständigkeit und elektrochemische Eigenschaften aufweisen, die bisher jedoch noch nicht charakterisiert wurden.

In diesem Vortrag wird die Herstellung von vertikal ausgerichteten Nano-Diamantdrähten aus Bor- und undotiertem Diamant vorgestellt. Die Drähte werden mittels eines ICP-Trockenätzverfahrens hergestellt, unter Verwendung von selbstorganisierten Nickelpunk-Ätzmasken. Diese werden durch Aufdampfen einer dünnen Nickelschicht (ca. 1 nm) realisiert, die bei 700°C getempert wird. Durch Stranski-Krastanov Wachstum kommt es dabei zur Ausbildung von Nickelinseln mit ca. 17 nm Durchmesser, die sich homogen verteilt auf der Oberfläche anordnen. Diese wirken als Ätzmaske im anschließenden Plasmaätzschritt (ICP). Die entstehenden Diamantdrähte weisen ein Aspektverhältnis von 18 auf. Die Eigenschaften der Drähte werden durch SEM, STM, AFM, IU und Mikro-Raman Experimente analysiert und in diesem Vortrag vorgestellt.