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SYLL: Symposium Lasersysteme und Laseranwendungen: Aktuelle Entwicklungen und Trends

SYLL 1: Lasersysteme

SYLL 1.3: Invited Talk

Tuesday, March 9, 2010, 14:30–15:00, A 001

Aktuelle Entwicklungen von Excimerlasern — •Claus Strowitzki — Mlase AG

Excimerlaser sind in viele Applikationen trotz großer Fortschritte auf dem Gebiet der Festkörperlaser nicht durch diese zu ersetzen. Insbesondere bei Wellenlängen unterhalb von 250nm gibt es kaum wirtschaftliche Alternativen. Die Entwicklung der Laser ist getrieben von günstigen Betriebskosten und hohe Anforderungen an die Zuverlässigkeit. Hier wurden in den letzten Jahren erhebliche Fortschritte gemacht, die es den Excimerlaser ermöglichen, dem Konkurrenzdruck der Festkörperlaser zu bestehen. Insbesondere die Weiterentwicklung der Dichtungen und die Sauberkeit der Systeme vereinfachen den Betrieb erheblich, sodass ein *sealed off* Betrieb möglich ist. In dem Vortrag werden aktuelle Entwicklungen aufgezeichnet und aktuelle Ergebnisse präsentiert.