Hannover 2010 – scientific programme

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SYPT: Symposium Plasmatechnik für die Optikherstellung

SYPT 1: Beschichtungsverfahren

SYPT 1.1: Invited Talk

Monday, March 8, 2010, 13:30–14:10, E 415

Ionenstrahl- und Plasmaprozesse für die Beschichtung von Laseroptiken — •Johannes Ebert — LASEROPTIK GMBH, D-30826 Garbsen, Deutschland

Die Einführung von Ionenstrahl- und Plasmaprozessen in die Beschichtungstechnik ist vor vielen Jahren notwendig geworden, um gleichzeitig optische und mechanische Eigenschaften der Schichten zu verbessern. Eine neue Herausforderung ist, die Wirkung der Plasmen auf die Schichtbildungsprozesse besser zu verstehen, um auch spezielle Anforderungen, wie geringste Absorption, kleinste Streuung, also höchste Zerstörschwellen, Langzeitstabilität und Vakuumbeständigkeit.

Eine Übersicht der Ionenstrahl- und Plasmaprozesse für optische Schichten zeigt die unterschiedlichen Herstellungsparameter und auch unerwünschte Nebeneffekte. Der Autor versucht, mit dem derzeitigen Wissensstand die experimentellen Ergebnisse zu interpretieren. Ionenstrahl- und Plasmaprozesse stehen mit ihrer Fülle von Gestaltungsmöglichkeiten weiterhin an vorderster Front der Forschung an optischen Schichten.