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Hannover 2010 – scientific programme

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SYPT: Symposium Plasmatechnik für die Optikherstellung

SYPT 2: Plasmatechnik

SYPT 2.3: Invited Talk

Monday, March 8, 2010, 17:30–18:00, E 415

Prozesstaugliche Plasmadiagnostik mit der Multipolresonanzsonde — •Ralf Peter Brinkmann1, Peter Awakowicz1, Martin Lapke1, Thomas Musch1, Jens Oberrath1, Ilona Rolfes1,2, Robert Storch1, Tim Styrnol1 und Christian Zietz21Ruhr-Universität Bochum — 2Leibniz-Universität Hannover

Die Bestimmung der Elektronendichte in schichtabscheidenden Plasmen stellt eine große diagnostische Herausforderung dar. Eine attraktive Möglichkeit dazu bietet die aktive Plasmaresonanzspektroskopie: Ein über eine Sonde in das Plasma eingekoppeltes Hochfrequenzsignal regt dieses zu Resonanzen an, aus deren Lage und Dämpfung die Plasmaparameter bestimmt werden können. Bei der Multipolresonanzsonde (MRP) handelt es sich um eine speziell optimierte Realisierung dieses Konzeptes. Der Vortrag erläutert die physikalischen Grundlagen der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie und stellt die im BMBF-Projekt PluTO laufenden Arbeiten zur Multipolresonanzsonde dar.

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