Regensburg 2010 – wissenschaftliches Programm

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DS: Fachverband Dünne Schichten

DS 5: Nanoengineered Thin Films

DS 5.5: Vortrag

Montag, 22. März 2010, 16:45–17:00, H8

Diffuse Röntgenstreuung an Dünnschichtsystemen — •Malte Ernst, Dieter Lott, Wolfgang Kreuzpaintner und Andreas Schreyer — GKSS Research Centre Geesthacht, Germany

Diffuse Röntgenstreuung liefert wichtige Informationen über Grenzflächen von technologisch wichtigen Dünnschichtsystemen. Aus der diffusen Röntgenreflektivität lassen sich Größen wie Rauhigkeit, Korrelationslänge bzw Informationen über periodische Strukturen gewinnen. Dabei sind sowohl laterale wie auch vertikale Periodizitäten sichtbar. Zur Beschreibung der diffusen Streuung wird die Distorted Wave Born Approximation (DWBA) genutzt [1]. Dabei spielt im Dünnschichtsystem die Selbstkorrelation der einzelnen Grenzfläche und im Mehrschichtsystem auch die Kreuzkorrelation der einzelnen Grenzflächen eine wichtige Rolle. Mit Hilfe dieser Korrelationsfunktionen lässt sich unter Verwendung der DWBA der Strukturfaktor und somit die Streuintensität in Abhängigkeit des Impulsübertrages bestimmen. Die berechneten Reflektivitäten werden an realen Systemen getestet.
[1] S.K. Sinha et al., Phys.Rev.B 38, 2297 (1988)