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MI: Fachverband Mikrosonden

MI 6: X-ray imaging, holography and tomography

MI 6.4: Talk

Wednesday, March 28, 2012, 13:15–13:30, TA 201

Ptychographie: Rastermikroskopie mit kohärentem Röntgenbeugungskontrast — •Robert Hoppe1, Manfred Burghammer2, Gerald Falkenberg3 und Christian G. Schroer11TU Dresden, Dresden, Deutschland — 2ESRF, Grenoble, Fankreich — 3DESY, Hamburg, Deutschland

Ptychographie kann zur ortsaufgelösten Bestimmung der Absorption und des Phasenschubs einer Probe verwendet werden. Die bisher erreichte laterale Auflösung ist dabei besser als 10 nm [1]. Ptychographische Röntgenrastermikroskopie nutzt den Fernfeldbeugungskontrast zur Abbildung. Parallel zum Objekt werden die Amplitude und die Phase der Beleuchtung mit rekonstruiert. Diese Trennung der Beleuchtung vom Objekt erlaubt einzigartige Einblicke in die Intensitätsverteilung und Phasenlage verschiedener Teilbereiche des fokussierten Röntgenstrahls. Das bedeutet, dass über den Röntgenstrahl die vollständigen Informationen vorliegen. Diese einzigartigen Information werden unter anderem zur Weiterentwicklung von Röntgenoptiken wie zum Beispiel von Nanofokussierenden Linsen (NFLs) [2] verwendet. Mit NFLs wurde der Röntgenstrahl bisher bis auf eine Größe von 46×63 nm2 (FWHM) fokussiert [3]. Der fokussierte Strahl erlaubt es, simultan zur ptychographischen Bildgebung die Elementverteilung mittels Fluoreszenzanalyse im Objekt ortsaufgelöst zu untersuchen. [1] A. Schropp et. al., Appl. Phys. Lett. 96, 091102(2010) [2] C. G. Schroer et.al., Appl. Phys. Lett. 87, 124103(2005) [3] C. G. Schroer et. al. AIP Conference Proceedings, P227-230,(2011)

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