Jena 2013 – wissenschaftliches Programm

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P: Fachverband Plasmaphysik

P 11: Poster: Niedertemperaturplasmen

P 11.10: Poster

Mittwoch, 27. Februar 2013, 16:30–18:30, Poster EG

Erforschung der Anregungscharakteristik von Mikro-Entladungen in Metallgitter-Arrays — •Markus Brochhagen und Volker Schulz-von der Gathen — Ruhr-Universität Bochum, Research Department Plasma, 44801 Bochum

Mikro-Entladungen erlangen in der letzten Zeit aufgrund ihres hohen Anwendungspotentials immer größere Aufmerksamkeit. Auf Grund des eingeschränkten diagnostischen Zugangs ist das Wissen über Zündung und Betrieb immer noch eingeschränkt. Bei den hier untersuchten Mikro-Entladungen werden Edelstahl-Gitter mit Lochgrößen von 50 µm bis 200 µm als eine der Elektroden des Arrays verwendet. Als Dielektrikum werden sowohl Eloxate als auch Polymere verwendet. Die Zündeigenschaften werden in Edelgasen bei einem Druck von 100 mbar bis 900 mbar und Anregungsfrequenzen in der Größenordnung von einigen kHz untersucht. Die angelegte Spannung kann bis 650 Vp-p variiert werden. Durch die Aufzeichnung von Strom- und Spannungskennlinien kann der Arbeitsbereich unter Parameterveränderungen bestimmt werden. Ähnlich wie bei Silizium-basierten Mikroarrays wird ein ’Selbstpulsen’ ähnlich dem einer homogenen, dielektrisch behinderten Entladung beobachtet. In einem Druckbereich von 300 mbar bis 600 mbar kann eine stabile Entladung über mehrere Stunden betrieben werden. Zur weiteren Untersuchung werden phasenaufgelöste, emissionsspektroskopische Aufnahmen (PROES) durchgeführt. Hierbei werden reproduzierbare, zeitlich und räumlich variierende Emissionsstrukturen beobachtet.
Gefördert von der DFG im Rahmen der Forschergruppe FOR1123.