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T: Fachverband Teilchenphysik

T 86: Halbleiter: Produktion

T 86.5: Talk

Thursday, March 12, 2015, 17:50–18:05, G.10.03 (HS 8)

Untersuchung verschiedener PixelimplantationenMona Abt1, Silke Altenheiner1, Karola Dette2, Andreas Gisen1, Claus Gössling1, •Jara Helmig1, Jennifer Jentzsch2, Reiner Klingenberg1, Kevin Kröninger1, Arno Kompatscher3 und Felix Wizemann11TU Dortmund — 2CERN — 3CiS

Im Zuge des Upgrades des ATLAS Pixel Detektors wird nach Möglichkeiten gesucht die gesammelte Ladung zu maximieren.

Es werden Testrukturen unterschiedlicher Pixelimplantationen hinsichtlich ihrer Verwendbarkeit untersucht. Dazu sind auf einem FE-I4 kompatiblen planaren n+-in-n Silizium Sensor sieben verschiedene Implantationen realisiert.

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