Regensburg 2019 – wissenschaftliches Programm
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DS: Fachverband Dünne Schichten
DS 14: Poster
DS 14.14: Poster
Dienstag, 2. April 2019, 17:00–20:00, Poster E
Temperaturabhängige Untersuchung des spezifischen elektrischen Widerstandes von Schichten aus MoNx — •Sabine Stück1, Martin Kommer2, Martin Balzer2, Martin Fenker2 und Frank Schmidl1 — 1Friedrich-Schiller Universität Jena, Physikalisch-Astronomische Fakultät, Institut für Festkörperphysik, Helmholtzweg 5, 07743 Jena — 2Forschungsinstitut Edelmetalle+Metallchemie, Katharinenstraße 17, 73525 Schwäbisch Gmünd
Wir untersuchen Schichten aus Molybdännitrid (MoNx), die mittels HiPIMS und PLD hergestellt wurden, auf ihre strukturellen und elektrischen Eigenschaften. Besonderes Augenmerk liegt auf der Temperaturabhängigkeit des spezifischen elektrischen Widerstandes.
Neben der stöchiometrischen Zusammensetzung der Schichten, werden die aufgefundenen Phasen und die Kristallinität gezeigt und diskutiert. Für die strukturellen Untersuchungen kommen hier unter anderem AES und Röntgenbeugungsmethoden zum Einsatz. Schwerpunkt der Untersuchung stellt die temperaturabhängige Messung des spezifischen elektrischen Widerstandes dar. Dessen ungewöhnliche Temperaturabhängigkeit wird hier erörtert. Die Schichten werden bis in den einstelligen Kelvinbereich vermessen, sodass sich ein Übergang in die supraleitende Phase einstellt. Die kritische Temperaturen (TC) sowie die kritischen Stromdichten (jC) der Schichten werden bestimmt.