Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 13: Postersitzung I
P 13.41: Poster
Dienstag, 4. März 1997, 16:00–18:00, Foyer
CYRANNUS - Neue Mikrowellen-Plasmaquelle zur Diamantabscheidung — •A. Müller, R. Spitzl, M. Walter, V. Raiko und J. Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik – fmt, Obere Lichtenplatzer Str. 336, D-42287 Wuppertal
Ein großer Nachteil von bisher zur CVD-Diamantabscheidung verwendeten Plasmaquellen des Asmussen-Typs /1/ ist die Plasmainhomogenität, die durch das Nahfeld der Einkoppelantenne verursacht wird. Diese bewirkt entsprechende Inhomogenitäten auf dem Substrat. Außerdem ist die Leistung, die über eine einzelne Antenne eingekoppelt werden kann, limitiert. Am fmt wurde daher eine neue 2.45 GHz Mikrowellen-Plasmaquelle entwickelt, bei der die Einkopplung in den Beschichtungsraum über einen um diesen ringförmig herumlaufenden Rechteck-Hohlleiter mit waagerechten Schlitzen erfolgt (CYlindrical Resonator with ANNUlar Slots). Der Beschichtungsraum selbst ist als Hohlraumresonator für eine TM012-Mode ausgelegt. Ähnlich wie bei der SLAN /2/ wird durch mehrere Schlitze eine bessere Homogenität sowie eine geringere Belastung der einzelnen Koppelstellen und damit eine bessere Energieeinkopplung erreicht. An der Quelle wurden Messungen zum Zündverhalten und zur Ionendichteverteilung vorgenommen. Zudem wurden die abgeschiedenen Diamantfilme charakterisiert.
[1] R.M. Fredericks, et. al., Appl. Phys. Lett. Vol. 19, No. 12, 508 (1971)
[2] F. Werner, et. al., Plasma Sources Sci. Technol. 3, 473 (1994)