Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 13: Postersitzung I

P 13.49: Poster

Dienstag, 4. März 1997, 16:00–18:00, Foyer

Spektroskopische und massenspektrometrische Untersuchungen einer mit Hochfrequenz angeregten Entladung in Gasgemischen für CO₂–Bandleiterlaser — •U. Berkermann, J. Mentel und G. Schiffner — Lehrstuhl für Allgemeine Elektrotechnik und Elektrooptik, Fakultät für Elektrotechnik, Ruhr–Universität Bochum, D–44780 Bochum

Spektroskopische Messungen von Stickstoffbanden, emittiert in der HF-Entladung zwischen zwei ausgedehnten Elektroden in einer mit speziellen CO₂–Lasergasen gefüllten und abgeschlossenen Vakuumkammer, erbringen detaillierte Gastemperaturprofile und Intensitätsprofile im Spalt zwischen den Elektroden in Abhängigkeit verschiedener Entladungsparameter. Die Ergebnisse liefern wichtige Informationen über grundlegende Plasmaparameter.

Die zusätzliche Entnahme des Prozeßgases mittels einer Siliziumkapillare in direkter Umgebung der Entladung und Analyse dessen in einem präzise kalibrierten Massenspektrometer liefert zudem quantitative Aussagen über die unerwünschte Dissoziation des CO₂, über katalytische Wirkungen der Elektrodenoberflächen zu dessen Rekombination und allgemeine Kenntnisse über die Gas–Chemie in der Entladung.

(Gefördert vom BMBF unter dem Förderkennzeichen 13 N 6571.)