Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 13: Postersitzung I

P 13.52: Poster

Dienstag, 4. März 1997, 16:00–18:00, Foyer

Der Umsatz von Kohlenwasserstoffen in der Glimmentladung mit Graphithohlkatode — •H.-E. Wagner und A. Rutscher — Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstrasse 10 a, D-17489 Greifswald

Die Entwicklung der Makroskopischen Kinetik plasmachemischer Stoffwandlungen beschränkte sich bisher auf die Beschreibung reaktiver Volumenprozesse. Durch die Einbeziehung der Plasma - Wand - Wechselwirkung wird der Versuch unternommen, das Ätzen bzw. die Schichtabscheidung an Festkörperoberflächen gemeinsam mit den Volumenprozessen makroskopisch zu modellieren. Untersuchungsobjekt war ein Graphithohlkatodenreaktor, als Prozeßgase dienten Kohlenwasserstoffe sowie Wasserstoff. Ausgehend von 13 Bruttoprozessen im Volumen und an der Wand erfolgt die Modellierung des Stoffumsatzes im Plasma, des Ätzens der Graphitkatode sowie der Abscheidung von Polymerschichten im Afterglow in Abhängigkeit von den Betriebsdaten des Reaktors. Die Ergebnisse der Modellierung werden mit den experimentellen Resultaten verglichen und erfassen diese zufriedenstellend.