Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 14: Postersitzung II

P 14.14: Poster

Dienstag, 4. März 1997, 18:00–20:00, Foyer

Experimentelle Bestimmung der Elektronendichte einer dielektrisch behinderten Entladung — •E. Gerova and S. Müller — Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik, Robert-Blum-Str. 8–10, D-17489 Greifswald

Die dielektrisch behinderte Entladung (DBE) findet vielfältige Anwendungen im Bereich der Strahlungserzeugung (insbesondere UV- und VUV-Strahlungsquellen) und der Plasmachemie (Ozonerzeugung, Schadstoffabbau, Schichtabscheidung und Oberflächenmodifizierung).

In diesem Beitrag werden Ergebnisse der experimentellen Untersuchungen zur räumlichen und zeitlichen Entwicklung in DBE vorgestellt. Die Elektronendichten wurden aus der Stark-Verbreiterung der Wasserstofflinie H-Beta anhand einer Einzelentladung in Helium ermittelt. Der Einsatz eines Doppelmonochromators mit einem geritzten Gitter von 2400g/mm gewährleistete die notwendige hohe spektrale Auflösung. Eine entsprechende optische Abbildung der Entladung auf dem Eintrittsspalt ermöglichte die räumliche Abtastung. Die zeitaufgelösten Messungen wurden über eine getorte Mikrokanalplatte (MCP) realisiert.