Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 2: Plasmatechnologie I

P 2.4: Vortrag

Montag, 3. März 1997, 15:00–15:15, P 11

Messungen zum Ionenfluß aus einem Methan–ECR–Plasma — •P. Pecher and W. Jacob — Max–Planck–Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D–85748 Garching b. München

Bei der Abscheidung amorpher wasserstoffhaltiger Kohlenstoffschichten (a–C:H) spielen die auf die Schicht auftreffenden Ionen eine wichtige Rolle. Die Ionenflüsse aus dem Plasma auf das Substrat liefern nicht nur Material für die aufwachsende Schicht sondern beeinflussen durch ihre Zusammensetzung und Energieverteilung auch wesentlich den Wachstumsprozeß. Unterschiedliche Teilchen werden auch unterschiedliche Prozesse an der Oberfl"ache auslösen. Für eine erfolgreiche Modellierung des Abscheideprozesses sind neben dem Wissen über die mikroskopischen Wachstumsprozesse quantitative Angaben über die Ionenfl"usse erforderlich.

Die Massen– und Energieabhängigkeit der Transmission eines kommerziellen Masse–Energie–Analysators wurde durch den Vergleich mit einem Gegenfeldanalysator an Edelgasplasmen kalibriert. Mit dem dermaßen kalibrierten System wurden dann quantitative massenaufgelöste Ionenenergieverteilungen und Ionenfl"usse aus ECR–Methanplasmen gemessen. Dabei wurden Ionen bis zur Masse 200 amu nachgewiesen. Die Abhängigkeit der Zusammensetzung des Ionenflusses von Druck, Gasfluß und der HF-Leistung wurde untersucht.