Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 22: Plasmadiagnostik IV

P 22.5: Vortrag

Donnerstag, 6. März 1997, 15:00–15:15, P 11

Charakterisierung von Breitstrahl-Ionenquellen — •M. Zeuner, H. Neumann und F. Scholze — Institut für Oberflächenmodifizierung, Permoser Straße 15, D-04318 Leipzig

An Breitstrahl-Ionenquellen (Heißkatoden- und ECR-Anregung) werden Ionenenergieverteilung, Strahlprofil und Strahlzusammensetzung mit einem energieselektiven Massenspektrometer (1 keV, 300 amu) und einem Faraday-Array bestimmt. Der dominierende Beitrag zur Ionenenergieverteilung wird von Ionen getragen, die durch Elektronenstoßionisation an der Entladungsanode gebildet werden. Zusätzlich sind ionenspezifische Mehrfachpeaks zu beobachten, die durch verschiedenste Ladungstransferprozesse gebildet werden und somit die Potentialverhältnisse in und außerhalb der Quelle widerspiegeln. Der resultierende Totalionenstrom läßt sich aus Ionisierungsrate und Potentialgradienten in der Quelle erklären. Hauptsächlich finden sich im Ionenstrahl Prozeßgasionen, nur bei Nutzung reaktiver Gase sind wesentliche Verunreinigungen durch Quellenmaterialien nachzuweisen. Zusätzlich können Unterschiede in der Ladungsträgerdichte in Abhängigkeit des Prozessgases zu radialen Potentialinhomogenitäten führen, die sich in Verbreiterung und Verschiebung der Peakstrukturen äußern.