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P: Plasmaphysik

P 6: Plasmatechnologie II

P 6.3: Talk

Monday, March 3, 1997, 16:30–16:45, P 11

Einfluß von schnell ansteigenden Anregungsspannungen auf das zeitliche Zündverhalten von Barrierenentladungen — •C. Arlt, W. Neff, K. Pochner, and S. Seiwert — Fraunhofer-Institut für Lasertechnik, Aachen

Barrierenentladungen bei Atmosph"arendruck können für verschiedene plasmachemische Verfahren technisch eingesetzt werden. In vielen Fällen ist es für die Prozeßeffizienz günstig, wenn hohe Elektronenenergien bei kaltem Neutralgas erreicht werden. Dabei spielt die Art der elektrischen Anregung und die Gasart eine entscheidende Rolle. Unter Verwendung eines großflächigen Aufbaus wird mit einer auf die Fußpunktfläche einzelner Filamente begrenzten Strommessung mit < 1 ns Zeitauflösung das Zünd- und Abklingverhalten des Ladungsübertrags untersucht. Die Beeinflussung der Z"undspannung durch schnelle Spannungsanstiege wurde untersucht. Mittels variabler Repetitionsraten wird der Einfluß von Restladungen auf den Oberflächen und von Restionisation im Volumen ermittelt. Anhand numerischer Modellrechnungen wird ein Interpretationsansatz für die Messungen gegeben.
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