Mainz 1997 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

P: Plasmaphysik

P I: HV I

P I.1: Hauptvortrag

Montag, 3. März 1997, 12:00–12:45, RW 1

Niedertemperatur-Nichtgleichgewichtsplasmen auf dem Wege in die technische Nutzung - Grundlegendes, Anwendungen, Perspektiven - — •J. Engemann — Forschungszentrum für Mikrostrukturtechnik – fmt, Obere Lichtenplatzer Str. 336, D-42287 Wuppertal

Obwohl vom Phänomen her bereits seit dem vergangenen Jahrhundert bekannt, stellen Niedertemperatur-Nichtgleichgewichtsplasmen bezüglich ihrer vollständigen wissenschaftlichen Durchdringung immer noch eine große Herausforderung dar. Vieles ist vom Grundsatz her zwar verstanden, jedoch steht eine vollständige Beschreibung unter Einbezug aller Wechselbeziehungen zwischen den Plasmapartikeln untereinander und ihre Wechselwirkung mit den sie einschließenden Wänden noch aus. Dies hat jedoch eine vorzeitige, meist empirisch begründete, technische Nutzung nicht ausgeschlossen. Gerade in den letzten Jahren ist der verstärkte Versuch zu beobachten, plasmatechnologische Verfahren in die industrielle Nutzung zu überführen. Grundlage dafür ist der vergleichsweise hohe Energieinhalt derartiger Plasmen. Die damit verbundene breite Anwendungsvielfalt hat dazu geführt, daß der Plasmatechnologie der Rang einer Querschnitts- und Schlüsseltechnologie zugeordnet wird. Dieser Beitrag geht wertend auf grundlegende Eigenschaften von Niedertemperatur-Nichtgleichgewichtsplasmen ein, gibt Hinweise zu ihrer effektiven Erzeugung und Nutzung und wendet sich schließlich neueren Entwicklungen mit dem Ziel einer verbesserten Selektivität der jeweiligen Plasmaprozesse zu.