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Q: Quantenoptik

Q 20: Poster Ib: Atomoptik

Q 20.4: Poster

Dienstag, 4. März 1997, 16:00–18:00, Phil. Fak.

Nanostrukturierung von Oberflächen mit metastabilem Helium — •Stephan Nowak, Tilman Pfau und Jürgen Mlynek — Fakultät für Physik, Universität Konstanz, Universitätsstraße 10, 78464 Konstanz

Gegenwärtig technisch praktizierte Lithographieverfahren treffen bei Auflösungen unter 100 nm auf prinzipielle Grenzen. Zur Überwindung dieser Schranke werden unter anderem Neutralatomstrahlen eingesetzt, die ein Substrat entweder durch direkte Deposition strukturieren, oder einen hochempfindlichen Resist verändern [1]. Wir berichten über Experimente mit einem Strahl metastabiler Heliumatome mit dem ein molekular dünner Resist auf einer Goldschicht strukturiert wurde [2]. Der Strukturierungsprozeß beruht auf einem Penningprozeß, bei dem die freigesetzte innere Energie der Atome einzelne Moleküle des Resists zerstört. Systematische Untersuchungen zeigen, daß dadurch lokal die Benetzbarkeit des Resists für Wasser vergrößert wird. Eine nachfolgende Behandlung mit einem wasserlöslichen Goldätzmittel überträgt die Struktur in die unterliegende Goldschicht. Kantenschärfen im Gold von 35 nm wurden demonstriert.

[1] K.K. Berggren et al., Science 269, 1255, (1995).

[2] S. Nowak, T. Pfau, J. Mlynek, Appl. Phys. B. 63, 203, (1996).