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AM: Magnetismus

AM 7: Magnetische Schichten und Vielfachschichten III

AM 7.9: Talk

Tuesday, March 18, 1997, 12:00–12:15, F5

Magnetische Domänen in nanokristallinen Nd-Fe-B-Filmen präpariert mittels gepulster Laserdeposition — •H. Lemke¹, T. Göddenhenrich¹, C. Heiden¹ und G. Thomas² — ¹Institut für Angewandte Physik, Heinrich-Buff-Ring 16, D-35392 Giessen — ²National Center for Electron Microscopy, LBNL and Dept. of Mat. Sc. and Min. Eng., University of California, Berkeley, CA 94720-1760, USA

Nd-Fe-B von geeigneter Zusammensetzung und Kornstruktur ist ein Kandidat für die Applikation in der Dünnschichttechnologie (wichtig ist: großes M_r, H_c bzw. kleine Domänen). Hierfür wurde eine Laser-Deposition entwickelt. Die Filme wurden durch Zerstäubung eines Sintertargets der Zusammensetzung Nd_14.0B_6.7Fe_bal. (at.-%) hergestellt. Bei einer Substrattemperatur von etwa 625 ^∘C wurden bei Schichtdicken von ca. 100 nm die besten granularen Eigenschaften erzielt, wie mit verschiedenen Analyseverfahren wie TEM, AFM und Röntgendiffraktometrie bestätigt werden konnte. Unter optimierten Bedingungen entstehen Filme mit einer Korngröße von 10-20 nm und der hartmagnetischen Nd₂Fe₁₄B-Phase als wichtigste Phase auf amorphen Kohlenstoffsubstraten.

Die magnetischen Eigenschaften der Filme wurden mittels Magnetokraft- (MFM) und Lorentzmikroskopie (LTEM) untersucht. Mit beiden Verfahren wurden übereinstimmend Domänen von der Größenordnung 100 nm in 200 nm dicken Filmen gefunden. Die Gestalt der Domänen ist hierbei eindeutig mit der Kornstruktur des Filmes verknüpft.