Münster 1997 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 1: BN I

DS 1.1: Talk

Monday, March 17, 1997, 10:15–10:30, PC 7

Computersimulationen zur Schichtabscheidung von Bornitrid — •K. Albe, K.–H. Heinig und W. Möller — Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung, Forschungszentrum Rossendorf, Postfach 51 01 19, D-01314 Dresden

Dünne Schichten mit einem hohem Anteil aus kubischem Bornitrid (c-BN) können heutzutage mit verschiedensten Verfahren erfolgreich abgeschieden werden. Dabei sind die Mechanismen, welche Wachstum und Haltbarkeit der Filme bestimmen, nicht ausreichend verstanden. Computersimulationen bieten hier die Möglichkeit, relevante Detailprozeße bei genauer Kontrolle der Depositionsparameter zu untersuchen.

In diesem Beitrag werden molekulardynamische Rechnungen zum Beschuß von c-BN und h-BN-Targets mit Edelgas-, Bor- und Stickstoffionen gezeigt. Dabei wird ein empirisches Potential verwendet, das strukturelle Eigenschaften der BN-Polymorphe und Moleküle genau beschreibt und die effiziente Berechnung interatomarer Kräfte ermöglicht.

Weiterhin wird mit Hilfe von Ergebnissen aus Dichtefunktionalrechnungen die h-BN ↔ c-BN Phasenengrenze im p−T Diagramm diskutiert und c-BN als stabile Modifikation unter Standardbedingungen vorhergesagt.