DS 15: Harte Schichten II
Tuesday, March 18, 1997, 11:45–13:00, PC 7
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11:45 |
DS 15.1 |
Abscheidung von titanhaltigen Nanocompositschichten mit einem plasmaaktivierten Verfahren — •Andrea Stricker, Wolfram Luithardt und Carsten Benndorf
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12:00 |
DS 15.2 |
Abscheidung und Charakterisierung von CN-Schichten in einem ECR-MW-Plasma — •G. Brendes, A. Weber, K. Bewilogua, U. Bringmann und U. Hoffmann
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12:15 |
DS 15.3 |
Structureformation in a-C:H and a-CNx Systems — •Th. K"ohler, F. Weich, G. Jungnickel, and Th. Frauenheim
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12:30 |
DS 15.4 |
Einfluß der Quellgase auf die Eigenschaften von a-C:H-Schichten — •T. Schwarz–Selinger, A. v. Keudell, and W. Jacob
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12:45 |
DS 15.5 |
Vergleich von PACVD- und PVD-hergestellten superharten a-BC:H Schichten — •V. Wagner, J. Geurts, C. Siry und E. Dekempeneer
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