Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

DS: Dünne Schichten

DS 16: Multilayer

DS 16.2: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 12:00–12:15, H 55

Grenzfl"achenstress- und H"artemessungen an Ag/Ni-Vielfachschichten — •H. Geisler¹, K. O. Schweitz¹, J. Chevallier¹, R. Feidenhans’l², J. Bottiger¹, and K. Samwer³ — ¹Institut for Fysik og Astronomi, Aarhus Universitet, 8000 Aarhus C, Denmark — ²Riso National Laboratory, 4000 Roskilde, Denmark — ³Universit"at Augsburg, Institut f"ur Physik, 86135 Augsburg

Es wird "uber den Einflu"s der Grenzfl"achen auf die Stabilit"at und die mechanischen Eigenschaften von gesputterten Ag/Ni-Vielfachschichten mit verschiedenen Modulationsperioden λ berichtet. Die elastischen Verzerrungen senkrecht und parallel zur Schichtebene wurden durch R"ontgenbeugung, die mechanischen Spannungen in den Schichtpaketen durch profilometrische Messungen der Substratkr"ummung ermittelt. Die Kombination dieser Me"smethoden erlaubt die Bestimmung des Grenzfl"achenstresses. Die H"arte der Schichtpakete wurde mit einem Nanoindenter gemessen. Die Ni-Gitterabst"ande sind sowohl senkrecht als auch parallel zur Schichtebene gedehnt und nehmen mit abnehmender Modulationsperiode zu. Die H"arte der Multilagen ist h"oher als der mit den Einzelschichtdicken gewichtete Mittelwert aus den H"arten der Komponenten und zeigt bei λ ≈ 10 nm ein Maximum. Die Zusammenh"ange zwischen den strukturellen und mechanischen Eigenschaften werden diskutiert.

Diese Arbeit wurde unterst"utzt durch das europ"aische HCM-Netzwerk "‘Metastable Phases in the Solid State"’.