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HL: Halbleiterphysik

HL 11: Poster I

HL 11.15: Poster

Monday, March 17, 1997, 15:30–18:30, Z

Winkelaufgelöste Photoelektronenspektroskopie an CVD C(100) Diamantfilmen unterschiedlicher Homogenität — •M. Lübbe und D.R.T. Zahn — Institut für Physik, Professur für Halbleiterphysik, Technische Universität Chemnitz, D-09107 Chemnitz

Die elektronische Struktur von auf Si(100) gewachsenen, (100)-texturierten CVD-Diamantfilmen mit Schichtdicken bis zu 15µm wurde mittels winkelaufgelöster Photoelektronenspektroskopie bei einer Photonenenergie von 40.8 eV (He II) bestimmt. Die Filme unterschieden sich neben den unterschiedlichen Schichtdicken durch verschiedene Orientierungsgrade der Kristallite relativ zueinander. Zur Probenpräparation wurden verschiedene Reinigungsprozeduren (Tempern, Wasserstoffplasma) verwendet und deren Einfluß auf die elektronische Struktur der Oberfläche studiert. Die geometrische Struktur der Oberfläche wurde durch LEED-Untersuchungen bestimmt. Abhängig von der jeweiligen Vorbehandlung und von der Homogenität der Schichten zeigen sich Unterschiede in den Spektren.