Münster 1997 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 4: Diamant

HL 4.4: Talk

Monday, March 17, 1997, 11:15–11:30, H3

Gasphasenuntersuchung der Diamantabscheidung aus Niederdruckflammen — •J. Brand², B. Atakan¹, A.G. Löwe², A.T. Hartlieb² und K. Kohse-Höinghaus² — ¹Physikalische Chemie 1, Fak.f. Chemie, Universität Bielefeld, Universitätsstr.25, 33615 Bielefeld — ²s.o.

Es wurde die Diamantabscheidung aus vorgemischten Acetylen/Sauer stoff/ Argonflammen bei 50 mbar untersucht. Hierbei wurde haupt- sächlich die Stöchiometrie und Substrattemperatur variiert. Optimale Abscheidungsbedingungen wurden bei einem Acetylen zu Sauerstoff Verhältniß von 1.4 erhalten. In derselben Flamme wurde mittels laserinduzierter Fluoreszenz (LIF) am OH-Radikal die Flammentemperatur ohne Substrat ermittelt. Die relative H-Atomkonzentration wurde mit Hilfe der Dreiphotonen-LIF mit und ohne Substrat ermittelt. In der Nähe des Substrates sinkt die H-Atomkonzentration stark. Weiterhin wurde in einem zweiten Experiment ohne Substrat mit einer Probenahme per Molekularstrahl- die Zusammensetzung der Flamme massenspektrometrisch untersucht. Hierbei wurden die Verläufe von Methylradikalen aber auch höherer Kohlenwasserstoffe(KW) als Funktion der Stöchiometrie ermittelt. Die Bedeutung dieser höheren KW für die Diamantabscheidung ist noch unklar. Die abgeschiedenen Diamant- filme wurden mit Ramanspektroskopie und REM untersucht und werden mit Resultaten aus Normaldruckflammen verglichen.