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M: Metallphysik

M 14: Texturen II

M 14.6: Talk

Wednesday, March 19, 1997, 16:30–16:50, S 6

Feinbereichs-Polfigurmessung mit einem CCD-Flächendetektor im TEM — •B. Schäfer — Institut für Metallkunde und Metallphysik, Technische Universität Clausthal, Großer Bruch 23, D-38678 Clausthal-Zellerfeld

Die Feinbereichs-Polfigurmessung im TEM eignet sich als Methode hoher Orts- und Winkelauflösung ausgezeichnet zur quantitativen Analyse lokaler Texturen sowohl in dünnen Schichten als auch auf der Oberfläche von Festkörpern. Die Prinzipien des Verfahrens gleichen im wesentlichen denen der konventionellen röntgenographischen Texturbestimmung. Wie dort erhält man die Poldichte auf der hkl-Lagekugel aus der azimutalen Intensitätsverteilung der entsprechenden Beugungsringe. Zur Verbesserung einer sequentiellen Meßmethode aus den 80er Jahren wurde ein paralleles Verfahren unter Verwendung eines CCD-Flächendetektors entwickelt. Dadurch konnte die Meßzeit für 3-4 Polfiguren von 30 min auf ca. zwei Minuten verkürzt und damit Probleme mit der Mikroskopinstabilität weitgehend entschärft werden. Als Anwendungsbeispiel wurde die Textur einer Gold-Aufdampfschicht bestimmt. Die Software beinhaltet u.a. die Bildaufnahme, geometrische Entzerrung, Intensitätskorrekturen und Peakentflechtung sowie Darstellung der experimentellen Polfiguren.