Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
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M: Metallphysik
M 19: Postersitzung
M 19.13: Poster
Donnerstag, 20. März 1997, 15:00–19:00, Aula
Struktur galvanischer Palladiumschichten — •S. Haubold1,2, N. Breuer1, P. Klimanek2 und H. Meyer1 — 1Atotech Deutschland GmbH, 10553 Berlin — 2TU Bergakademie Freiberg, 09599 Freiberg
Die elekrochemische Metallscheidung ist eine technisch weit verbreitete Methode zur Erzeugung von Schichten. Dabei haben die Abscheidebedingungen einen wesentlichen Einfluß auf die Struktur der Schicht, die wiederum die Schichteigenschaften beeinflußt. Die Abhängigkeit der Schichtstruktur von den Abscheidebedingungen soll am Beispiel von Palladiumschichten dargestellt werden. Es wurden die Zusammensetzung des Elektrolyten und die physikalischen Bedingungen (elektrochemisches Potential, Temperatur)variiert. Die Textur der Schichten wurde mittels quantitativer röntgenographischer Texturanalyse bestimmt. Außerdem werden SEM-Querschliffaufnahmen gezeigt. Darüber hinaus werden die Änderungen in der Oberflächenstruktur und -orientierung mittels SEM und STM untersucht. Die Resultate der Strukturuntersuchungen werden im Hinblick auf eine gezielte Einstellung von Vorzugsorientierungen diskutiert.