Münster 1997 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 5: Adsorption auf Halbleiter-Oberflächen
O 5.1: Vortrag
Montag, 17. März 1997, 09:30–09:45, PC 4
Die Adsorption von Alkoholen auf H2O gesättigten Si(100)-2x1 Oberflächen: Eine HREELS Untersuchung — •Th. Bitzer1, N.V Richardson1 und D.J. Schiffrin8103202 — 1IRC in Surface Science, University of Liverpool, Liverpool L693BX, G.B. — 2Department of Chemistry, University of Liverpool, Liverpool L69 3BX, G.B.
Neue Untersuchungen (1) haben gezeigt, daß die Zugabe von Isopropanol zu wäßrigen KOH Lösungen zu einer deutlich verringerten Oberflächenrauhigkeit auf Si(100) führt. Jedoch ist die Rolle von Isopropanol in dem anisotropen Ätzprozess bisher ungeklärt. In dieser Studie wurde die Silicium/Ätzlösung- Grenzfläche durch die Adsorption von Ethanol, Isopropanol und tert-Butanol auf H2O gesättigten Si(100)-2x1 Oberflächen unter UHV Bedingungen modelliert. Die Analyse der konditionierten Siliciumoberflächen mittels Elektronenenergieverlustspektroskopie (HREELS) zeigt, daß die untersuchten Alkohole über eine Deprotonierung der OH-Gruppe chemisorbieren. Wir beobachten eine sinkende Reaktivität mit wachsender Anzahl der Methyl-Gruppen im Alkohol. Die Dissoziationsreaktionen sowie die Koordination der chemisorbierten Species werden diskutiert.
(1) S. A. Campbell, K. Cooper, L. Dixon, R. Earwaker, S. N. Port and D. J. Schiffrin, J. of Micromech. and Microeng. 5, 209 (1995)