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PO: Polymerphysik

PO 5: Poster: Dünne Filme

PO 5.5: Poster

Montag, 17. März 1997, 15:30–17:30, Gg

Strukturuntersuchungen dünner Polymerschichten mit energiedispersiver Röntgenstreuung — •G. Weiß¹, T. Pieper² und W. Wilke¹ — ¹Abteilung für Experimentelle Physik, Universität Ulm — ²c/o Abteilung für Experimentelle Physik, Universität Ulm

Die Röntgenstrukturanalyse dünner Schichten wird bei Einfallswinkeln unterhalb des kritischen Winkels der Totalreflexion α_c durchgeführt, um den Absorptionspfad innerhalb der Probe möglichst groß zu halten und die Substratstreuung zu eliminieren. Bei der Texturanalyse orientierter dünner Proben ergibt sich bei fester Wellenlänge das grundsätzliche Problem, daß viele Netzebenenorientierungen die Braggbedingung nicht erfüllen können. Das neue Verfahren der energiedispersiven Röntgenstreuung mit asymmetrischem Strahlengang bietet die Möglichkeit, wesentlich mehr Netzebenenorientierungen messen zu können, da die Wellenlänge nicht mehr fest ist. Es werden Rechnungen zur Eindringtiefe in die Probenoberfläche in Abhängigkeit von Einfallswinkel und Energie gezeigt. Die Ergebnisse werden mit Messungen an dünnen Metallschichten definierter Dicken experimentell überprüft. Der Totalreflexionswinkel α_c liegt bei Polymeren in der Größenordnung von ca. 2mrad und stellt damit erhöhte Anforderungen an den Meßaufbau. Unser Diffraktometer erfüllt diese Anforderungen und ermöglicht es damit, die Textur dünner Polymerschichten zu messen, was an Beispielen demonstriert wird.