Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 16: Supraleitende dünne Filme

TT 16.6: Vortrag

Donnerstag, 20. März 1997, 10:45–11:00, F2

Strukturierung von dünnen HTSL-Schichten per Ionenimplantation — •M. Kuhn¹, W. Biegel¹, B. Schey¹, B. Stritzker¹, J. Eisenmenger² und P. Leiderer² — ¹Universität Augsburg, Institut für Physik, D-86135 Augsburg — ²Universität Konstanz, Fakultät für Physik, D-78434 Konstanz

Mit Hilfe von Ionenstrahlen wurden epitaktische YBa₂Cu₃O_7−δ- Schichten strukturiert. Die Strukturierung beruht dabei auf einer Störung der Kristallstruktur und somit einer starken Degradation der supraleitenden Eigenschaften der implantierten Bereiche und läßt sich über die Energievariation tiefenkontrolliert einstellen. Es handelt sich um eine planare Strukturierungstechnik mit der zirkulare und mäanderförmige Stukturen im mm-Bereich, sowie Punktstrukturen im µm-Bereich hergestellt wurden. Als Ionenart wurde, um eine Kontamination zu vermeiden, einfach geladener Sauerstoff mit einer Energie von 180 keV verwendet. Die erzeugten Strukturen wurden hinsichtlich einer Dosisabhängigkeit sowie geometrischer Einflüsse mit Hilfe von RBS, XRD, OM sowie mit Hilfe induktiver j_c-Messungen und magneto-optisch untersucht. Darüberhinaus wurde dieses Verfahren auch auf YBCO-Schichten angewendet, die bereits mit einer Deckschicht aus Gold versehen waren.