Münster 1997 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung

VA 2.3: Talk

Monday, March 17, 1997, 15:00–15:20, ZH

Neues Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter als Transmitter für die inustrielle Vakuumdruckmessung — •W. Große Bley und C. Harig — Leybold Vakuum GmbH

Die Messung des Druckes im Hochvakuum mit Heißkathoden-Ionisations-vakummetern ist grundsätzlich seit langem bekannt, ebenso wie die damit verbundenen Probleme bezüglich Reproduzierbarkeit, Langzeitstabilität und Meßgenauigkeit. In der industriellen Meßtechnik bedeutet dies einen erheblichen Aufwand bei der Wartung und Kalibrierung von solchen Meßgeräten in Anlagen z. B. der Halbleiterindustrie. Der vorgestellte neue Sensor arbeitet nach dem Bayard-Albert-Prinzip allerdings in dem weiten Bereich von 10⁻¹⁰ bis 0.1 mbar, so daß sowohl Prozeß als auch Restdruckmessungen mit einem Sensor möglich sind. Durch die Bauweise des Sensors und ein integriertes EEPROM zur Speicherung der individuellen Kalibrierung wird eine hohe Reproduzierbarkeit und Langzeitstabilität der Meßwerte erreicht. Die Prozeßtauglichkeit wird weiter durch elektrische und mechanische Abschirmmaßnahmen sichergestellt, so daß auch unter schwierigen Bedingungen in Anlagen (Entladungen, Spritzwasser, Staub, ...) stabile und reproduzierbare Meßwerte erzeugt werden. Durch den Mikroprozessor kann darüber hinaus auch die Anzeige für unterschiedliche Gaszusammensetzungen abhängig vom Prozeß auf richtige Druckanzeige korrigiert werden.