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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung

VA 2.4: Vortrag

Montag, 17. März 1997, 15:20–15:40, ZH

Gasstrommessung mit Düsen und Blenden — •W. Jitschin und M. Ronzheimer — Fachbereich NMI, Fachhochschule Giessen-Friedberg

Zur genauen und zuverlässigen Messung des Gasstroms durch ein Leitung ist insbesondere das Wirkdruckverfahren wegen seiner fundamentalen Berechenbarkeit und seiner hohen Langzeitstabilität geeignet. Hierbei strömt das Gas durch ein Drosselelement (Blende, Düse oder Staurohr) und der entstehende Druckabfall wird erfasst. Für den Fall idealer Bedingungen kann der Zusammenhang zwischen Gasdurchfluss und Wirkdruck exakt ausgerechnet werden. In der praktischen Anwendung treten störende Effekt auf, abhängig vom Typ des Drosselelements und den Betriebsbedingungen, nämlich Reibungsverluste an der Wand und gasdynamische Kontraktion der Strömung. Im Labor für Vakuumtechnik der Fachhochschule in Giessen wurden Meßstrecken zur Durchflussmessung nach dem Wirkdruckprinzip aufgebaut. Deren Charakteristik wurde durch Kalibrierung mit primären Verfahren (isothermer Druckanstieg bei festem Volumen, isotherme Volumenänderung bei konstantem Druck) vermessen. Der Aufbau der Meßstrecken wir vorgestellt, die Kalibrierdaten werden interpretiert. Es stehen nun Meßmöglichkeiten für Durchflüsse im Bereich von 10⁻⁷ bis 10⁵ mbar l/s zur Verfügung. Hiermit können zuverlässig Leckraten, Leitwerte von Bauelementen und Saugvermögen verschiedener Vakuumpumpen gemessen werden.