Münster 1997 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 2: Druckmessung

VA 2.5: Talk

Monday, March 17, 1997, 15:40–16:00, ZH

Ein neuartiger portabler trockener Lecksucher — •T. Böhm — Leybold Vakuum GmbH

In der Halbleiterindustrie werden seit geraumer Zeit zur Erzeugung des Vakuums trockenlaufende Pumpen eingesetzt. Im Zuge dieser Entwicklung dürfen die Anlagen zur Halbleiterherstellung auch im Servicefall bzw. bei der Inbetriebnahme nicht mit ölgedichteten Pumpen betrieben werden. Dies hat dazu geführt, das der Anteil von Lecksuchern mit trockenlaufenden Pumpen in diesem Industriezweig stark zugenommen hat. In portablen Lecksuchern kommt neben einer Turbomolekularpumpe eine vlgedichtete Drehschieberpumpe mit einem typischen Saugvermögen von 2 m³/h zum Einsatz. Zur Zeit gibt es keine trockenen Pumpen die bei dieser Baugröße ein entsprechendes Saugvermögen und einen Enddruck unterhalb von 0.1 mbar erreichen.Um dennoch einen wirklich portablen trockenen Lecksucher realisieren zu können, kommt als Vorpumpe aufgrund der Abmessungen nur eine Membranpumpe in Betracht. Die damit verbundenen Nachteile bezüglich Nachweisempfindlichkeit und Ansprechverhalten des Lecksuchers wurden durch Verwendung eines Proportionalventils im Einlaßbereich vermieden. Durch dieses Ventil wird währen des Abpumpvorganges das Saugvermögen der Turbomolekularpumpe sukzessive zugeschaltet. Im Meßbetrieb moduliert das elektrisch angesteuerte Proportionalventil den Heliumgasstrom um trotz des hohen Heliumuntergrundes in der Membranpumpe kleinste Leckraten nachweisen zu koennen.