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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 5: Instrumente

VA 5.3: Vortrag

Dienstag, 18. März 1997, 15:30–15:50, ZH

Design und Test einer Niedertemperatureffusionszelle mit direkter IR-Strahlungsheizung — •Jörg Stephan¹, Christian Rempel² und Ludwig Brehmer³ — ¹Universität Potsdam, Institut für Festkörperphysik, Postfach 601553, 14415 Potsdam — ²BESTEC GmbH Berlin, Rudower Chaussee 6, 12484 Berlin — ³IDM, Institut für Dünnschichttechnologie und Mikrosensorik e.V., Kantstr. 55, 14513 Teltow

Konventionelle Effusionszellen arbeiten im unteren Temperaturbe- reich bis ca 600 C ausschließlich nach dem Prinzip der Wärme- leitung. Dabei kann es wegen der granulären Struktur vieler fester, insbesondere organischer chemischer Substanzen unter UHV- Bedingungen infolge unterschiedlicher Erwärmung zu unerwünsch- ten Schwankungen der Aufdampfrate kommen. Wir stellen Arbeitsweise und Testergebnisse einer neuartigen Nie- dertemperatureffusionszelle mit einem Arbeitsbereich von 50-600 C vor, die dieses Problem durch direkte Erwärmung der Substanz in einem IR-Strahlungsfeld umgeht. Das Strahlungsfeld wird im Tiegel von einem Pyrometer gemessen und zur Temperaturregelung verwendet. Die getestete Niedertempe- ratureffusionszellebesitzt eine hohe Regeldynamik. Konstante Auf- dampfraten lassen sich schnell und exakt einstellen. Damit erschließen sich weite Anwendungsmöglichkeiten für die exakt definierte Präparation dünner Schichtsysteme