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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

	Mon, 14:00–14:40	ZH	VA I: HV I
	Tue, 12:00–12:40	ZH	VA II: HV II
	Tue, 14:30–15:10	ZH	VA III: HV III
	Mon, 10:00–12:00	ZH	VA 1: Vakuumpumpen
	Mon, 14:00–16:00	ZH	VA 2: Druckmessung
	Mon, 16:00–17:20	ZH	VA 3: Ausgasung, Passivierung
	Tue, 10:40–12:40	ZH	VA 4: Große Vakuumsysteme UHV XHV
	Tue, 14:30–16:10	ZH	VA 5: Instrumente