Münster 1997 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

Montag, 17. März 1997, 10:00–12:00, ZH

	10:00	VA 1.1	Fachvortrag: High Pressure Operation of Turbomolecular Pumps: Current Status and Future Development — •G. Levi und M. Spagnol
	10:40	VA 1.2	Einfache Funktionstest von Turbopumpen — •S. Ernst, P. Reimer, F. J. Schittko und H. G. Stüber
	11:00	VA 1.3	New Developments in Small Diffusion Pumps — •Graeme Huntley
	11:20	VA 1.4	Untersuchung des Einflusses einer Vorleitstufe auf das Saugvermvgen einer Turbomolekularpumpe — •Ch. Beyer, H. Paßmann und P. Plingen
	11:40	VA 1.5	Gestaltung von Verdichterstufen für Turbomolekularpumpen für den Druckbereich 0.01 bis > 2 mbar — •Ch. Beyer, R. Schneiders, M. Gregor und P. klinger Klingner