Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

K: Kurzzeitphysik

K 2: Kurzzeitdiagnostik, Laser-Verfahren

K 2.3: Vortrag

Montag, 9. März 1998, 14:30–14:45, H8

Kurzzeitdiagnostische Methoden zur dynamischen Charakterisierung von Mikroaktoren — •P. Krehl², E.P. Hofer¹, C. Rembe² und S. Engemann² — ¹Abteilung für Meß-,Regel- und Mikrotechnik der Univ. Ulm, 89069 Ulm — ²Ernst-Mach-Institut, Institut für Kurzzeitdynamik der Fraunhofer-Gesellschaft, 79104 Freiburg

Mikroaktoren wie beispilsweise Relais, Turbinen, Motoren, Ventile und Pumpen sind winzige mikromechanische Bauelemente und bilden in Mikrosystemen das wichtige Bindeglied zwischen Mikrosensoren und Mikroprozessoren. Um Mikroaktoren schnell und kostengünstig zu entwickeln, ist eine möglichst umfassende Charakterisierung der dynamischen Eigenschaften erforderlich. Hierzu gehören nicht nur einfache Fuktions- und Lebensdauertests, sondern auch die Bestimmung von kinematischen und thermodynamischen Daten, um so die thermodynamische Simulation zu verbessern. Optische kurzzeitdiagnostische Methoden wie z.B. Kine-Photomikrographie und Mikro-Scanning Laser-Vibrometrie sind heute am weitesten entwickelt, zahlreiche Beispiele werden gezeigt. Andere wichtige Metoden wie z.B. Kine-Mikroradiographie, unerläßlich zur Ermittlung kinematischer Daten in optisch undurchlässigen Mikroaktoren, sowie Schnappschuß- und Kine-Mikrothermographie zur momentanen Erfassung von schnell veränderlichen Temperaturverteilungen und zur Aufdeckung schädlicher “hot spots” sind dagegen noch in der Entwicklung begriffen.