Bayreuth 1998 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 17: Plasma-Wand-Wechselwirkung I

P 17.2: Vortrag

Mittwoch, 11. März 1998, 16:30–16:45, H 14

Erosion von a–C:H–Schichten in einem O₂–ECR–Plasma: Korrelation von Erosionsraten und Teilchenflüssen — •Bernhard Landkammer und Wolfgang Jacob — Max–Planck–Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr. 2, D–85748 Garching b. München

Die Erosion von wasserstoffhaltigen Kohlenstoffilmen durch O₂–ECR–(Electron Cyclotron Resonanz)–Plasmen wurde mittels In–situ–Ellipsometrie untersucht. Hintergrund der Untersuchungen ist die Optimierung der Erosion von codeponierten Schichten in einem Fusionsreaktor mittels eines lokalen ECR–Plasmas. Die Einflüsse der jeweiligen Plasmaparameter wie Ionenenergie, Druck, Verweilzeit, Leistung und Substrattemperatur auf die Erosionsrate wurden gemessen. Mit einem Gegenfeldanalysator wurden die Ionenflüsse und –energieverteilungen für die unterschiedlichen Plasmabedingungen bestimmt und damit der Einfluß der Ionen auf den Erosionsprozeß genauer analysiert. Die Ionenmasseverteilung wurde mit einem Plasmamonitor gemessen. Desweiteren wurden auch die Neutral– und Radikal–Teilchenflüsse auf die Probenoberfläche mittels Massenspektrometrie bzw. Ionisationsschwellen–Massenspektrometrie bestimmt. Die Erosionsraten in Sauerstoffplasmen wurden mit denen in Deuterium- und Wasserstoffplasmen bei ähnlichen Plasmabedingungen verglichen. Im gesamten untersuchten Parameterbereich sind die Erosionsraten im Sauerstoffplasma durchschnittlich um einen Faktor 5 bzw. 10 höher.