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P: Plasmaphysik

P 24: Entladungen (Poster)

P 24.11: Poster

Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2

Einfluß eines schwachen axialen Magnetfeldes auf eine planare induktiv gekoppelte Entladung — •Gerd Mümken — Institut für Experimentalphysik II, Ruhr–Universität Bochum

Die für industrielle Anwendungen hochinteressante planare induktive Entladung verändert ihre Eigenschaften bei Überlagerung eines schwachen Magnetfeldes bis zu einigen mTesla deutlich. Es ist eine starke Zunahme der in das Plasma eingekoppelten Leistung zu beobachten. Sobald die Zyklotronfrequenz der Elektronen die Anregungsfrequenz übersteigt, kann sich innerhalb des Plasmas eine Welle kurzer Wellenlänge (R–Welle, m=0 Helikonwelle) ausbreiten. In dieser Arbeit wird der Einfluß dieser Veränderungen auf die Homogenität der Plasmaprofile untersucht. Dazu wurden Messungen mit Langmuir–Sonden in einer Argon–Entladung mit einem Durchmesser von 50 cm durchgeführt, der ein Magnetfeld von bis zu 7 mT überlagert wurde. Die Entladung wird mit Hilfe eines räumlich zweidimensionalen kinetischen Modells beschrieben. Dabei wird insbesondere auch die Struktur der sich einstellenden Wellen untersucht, deren Berechnung durch die Tatsache erschwert wird, daß die Gradientenlängen im Plasma die gleiche Größenordnung wie die Wellenlänge besitzen.