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P: Plasmaphysik

P 24: Entladungen (Poster)

P 24.2: Poster

Montag, 9. März 1998, 18:00–20:00, P 2

Konzentrationsbestimmung molekularer Spezies eines CH₄/O₂ RF-Plasmas mittels Infrarot-Absorptionsspektroskopie — •C. Busch, I. Möller und H. Soltwisch — Institut für Experimentalphysik V, Ruhr-Uni Bochum

Die Physik und Chemie reaktiver RF-Plasmen ist von großem Interesse für technische Anwendungen, wobei die Wechselwirkung zwischen Plasmachemie und Plasmaphysik zur Zeit nur unzureichend verstanden ist.

Wir untersuchen Teile der Plasmachemie einer kapazitiv gekoppelten Methan-Sauerstoff Entladung (13.56 MHz). Als Diagnostik wird ein Absorptionsspektrometer mit Diodenlasern im Infraroten verwendet.

Der experimentelle Aufbau wird vorgestellt, und erste Meßergebnisse am Plasma werden präsentiert. Ein einfaches numerisches Modell zur Berechnung von molekularen Konzentrationen wird vorgeschlagen.