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P: Plasmaphysik

P 24: Entladungen (Poster)

P 24.20: Poster

Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2

Duo–Plasmaline – Charakterisierung einer linear ausgedehnten Niederdruck–Mikrowellen–Plasmaquelle — •J. Feichtinger, A. Schulz, K.-M. Baumgärtner, M. Kaiser, M. Walker und E. R äuchle — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, D-70569 Stuttgart

 
Eine neuartige, linear ausgedehnte Mikrowellen–Plasmaquelle – die Duo–Plasmaline – wird vorgestellt. Die Plasmaline arbeitet ähnlich einer umgekehrten Leuchtstoffröhre (Rohrinneres auf Atmospärendruck, Aussenbereich im Niederdruck). Ein Quarzrohr mit einem im Zentrum angeordneten Kupferstab wird von jedem Ende über eine koaxiale Anordnung aus zwei Magnetrons mit Mikrowellen gespeist. Bei Überschreiten der Zündfeldstärke im Aussenbereich des Rohres bildet sich ausserhalb des Rohres ein zylindersymmetrisches Plasma aus, welches gleichzeitig den Aussenleiter einer koaxialen Anordnung bildet und die weitere Ausbreitung der Mikrowellen und damit auch des Plasmas in axialer Richtung ermöglicht.
In der vorgestellten Arbeit wird zunächst die Homogenität des Plasmas längs der Achse mit Hilfe von Sondenmessungen und optischer Emissionsspektroskopie überprüft. Die daraus gewonnenen Ergebnisse werden durch Messungen der elektrischen Feldstärke der Mikrowellen sowohl direkt auf den Wellenleiter (Innenleiter) als auch im Plasma selbst ergänzt.