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P: Plasmaphysik

P 24: Entladungen (Poster)

P 24.3: Poster

Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2

Spektroskopische Bestimmung von Intensitätsprofilen an CCRF-angeregten Entladungen für Laseranwendungen — •J. Schulze, T. Domhöver, D. Teuner und J. Mentel — Ruhr-Universität Bochum, Arbeitsgruppe für Grundlagen der Elektrotechnik, D-44780 Bochum

Mit Hilfe einer telezentrischen Abbildung und eines OMA-Systems wurde die Intensitätsverteilung über den Querschnitt einer kapazitiv gekoppelten HF-Entladung in Helium gemessen. Der Innendurchmesser der Entladungsröhre aus Al₂O₃ betrug 4 mm, der Außendurchmesser 7 mm. Die HF-Leistung wurde über eine Anpassungsschaltung den außenliegenden Elektroden mit einer Länge von 100 mm symmetrisch zugeführt. Die eingekoppelte HF-Leistung betrug 1 bis 10 W/cm bei einer Frequenz von 13.56 MHz. Der He-Druck variierte im Bereich von 3 bis 1000 mbar.

Für alle He-Linien ist ein ähnliches Verhalten zu beobachten. Bei geringem Druck befindet sich ein breites Intensitätsmaximum in der Mitte der Entladung. Bei hohem Druck sind zwei Maxima vor den Elektroden und ein Minimum in der Entladungsmitte zu beobachten. Diese Aufspaltung der Entladungsmaxima ist abhängig von der eingekoppelten HF-Leistung. Bei kleinen Drücken tritt die Aufspaltung schon bei geringen HF-Leistungen auf, während bei hohem Druck eine hohe HF-Leistung zur Aufteilung benötigt wird.

(Gefördert durch die DFG, SFB 191, Projekt A10)