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P: Plasmaphysik

P 26: Plasma-Wand-Wechselwirkung (Poster)

P 26.1: Poster

Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2

Chemische Erosion von Kohlenstoff in H₂- und D₂ -Plasmen — •H. Paulin, U. Fantz und K. Behringer — Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Universität Augsburg, Memminger Str. 6, 86135 Augsburg

Zur Untersuchung der chemischen Erosion von Kohlenstoff in H₂- und D₂-Plasmen wurde ein planar induktiv gekoppeltes HF-Plasma (27.1 MHz, 300W) aufgebaut. Dieses Niederdruckplasma zeichnet sich durch einen relativ hohen atomaren Wasserstofffluss ( ≈ 10²¹ m⁻² s⁻¹ ) bei niedrigem Ionisationsgrad (≈ 10⁻⁴) und niedrigen Ionenenergien (Randschichtpotential max. 10eV) aus. Die Bestimmung der Ausbeuten und Interpretation der Ergebnisse setzt eine genaue Kenntnis der Plasmaparameter voraus. Diese wurden durch verschiedene Diagnostikmethoden wie Emissionsspektroskopie, Mikrowelleninterferometrie und Langmuirsondenmessungen bestimmt. Die Temperaturabhängigkeit der chemischen Erosion verschiedener Kohlenstoffmaterialien (z.B. Graphit, CFC) wurde bei Substrattemperaturen von 400-1000K durch optische Emissionsspektroskopie, anhand der CH- und CD-Bande, ortsaufgelöst gemessen und analysiert. Die ersten Ergebnisse werden vorgestellt und insbesondere wird auf den Isotopeneffekt eingegangen.