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P: Plasmaphysik

P 26: Plasma-Wand-Wechselwirkung (Poster)

P 26.3: Poster

Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2

Faserbasierte ATR-Spektroskopie zur Untersuchung der Plas-ma-Festkörper-Wechselwirkung — •Th. Pfeifer und J. Meichs-ner — Technische Universität Chemnitz, Institut für Physik, Gasentla-dungs- und Ionenphysik, D-09107 Chemnitz

Es wird eine Versuchsanordnung vorgestellt, die es gestattet, die Dynamik der Strukturbildung bei der Plasmapolymerisation sowie die Strukturmodifizierung dünner Polymerschichten infolge einer Plasmabehandlung mittels FTIR-Spektroskopie in situ zu untersuchen. Hierzu wird das Verfahren der ATR-Spektroskopie angewendet, wobei eine im mittleren IR transparente Chalcogenid-Glasfaser als ATR-Element dient. Diese Faser wird durch den Reaktionsraum eines Niederdruckplasmas geführt. Bezüglich des Ladungsträgerstromes auf die Faser werden die Gesetz-mäßigkeiten einer Zylindersonde im Plasma auf Floatingpotential herangezogen. Zur Untersuchung der axialen Entladungsgeometrie lassen sich ortsaufgelöste Messungen der Plasma-Festkörper-Wechselwirkung durch-führen. Erste experimentelle Ergebnisse zur Plasmapolymerisation von HMDSO (Hexamethyldisiloxan) und zur Plasmamodifizierung von Polystyrol werden vorgestellt.