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P: Plasmaphysik
P 27: Plasmatechnologie (Poster)
P 27.3: Poster
Monday, March 9, 1998, 18:00–20:00, P 2
Herstellung gastrennender Polymermembranen durch Plasmapolymerisation von Hexamethyldisiloxan (HMDSO) — •K. Li und J. Meichsner — Institut für Physik, TU Chemnitz, 09107 Chemnitz
Bisherige Experimente haben gezeigt, daß z.B. die Behandlung von Polymermembranen (Celluloseazetat beschichtet mit Polydimethylsiloxan) in einem N2/O2-Plasma (13.56 MHz, 65 Pa) die Gastrenneigenschaften stark verbessern (Faktor 20 für das System N2/He) [1]. In der vorliegenden Arbeit werden Ergebnisse experimenteller Untersuchungen zur Gaspermeation von Plasmapolymerschichten vorgestellt. Die Plasmapolymerschicht wird dabei auf ein mikroporöses Substrat unter definierten Bedingungen abgeschieden. Es werden plasmachemische Stoffwandlungsprozesse im Volumen und die Strukturbildung an Oberflächen durch Massenspektrometrie und in-situ-Ellipsometrie in Abhängigkeit von Plasma- und Prozeßparametern untersucht.
[1] K. M. Li, V. D. Matjuhin, V. F. Muravyev, Proc. of conf. EuroMembrane95, Bath, UK, V.2, 220-223 (1995)