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P: Plasmaphysik

P 29: Diagnostik (Poster)

P 29.21: Poster

Tuesday, March 10, 1998, 16:00–18:00, P 2

Spektroskopische Untersuchung einer Radiofrequenz-Entladung in He, Ar und N₂ — •W. Schneider, K. Hirsch, H. Jentschke und U. Schumacher — Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 31, D-70569 Stuttgart

In einem Entladungsgefäß von 8 cm Höhe und 16 cm Durchmesser werden Plasmen eines He-Ar-Gemisches mit N₂–Anteil in einem Druckbereich von 7 Pa bis 70 Pa mit RF-Leistungen von 50 W bis 120 W erzeugt (27 MHz). Zur Diagnostik werden He/Ar-Linien und N₂/N₂⁺–Banden benutzt. Die Gastemperatur ergibt sich aus den Rotationsbanden des Stickstoffmoleküls. Die Elektronendichte wird mit Hilfe eines Mikrowelleninterferometers bei 140 GHz bestimmt. Für optimierte Entladungen erlauben die gemessenen Spektren von N₂– und N₂⁺–Banden sowie die absoluten Strahldichten und Linienprofile von He– und Ar–Linien verschiedene spektroskopische Kriterien zu vergleichen und auf ihre Zuverlässigkeit zu überprüfen. Die entsprechenden Ergebnisse für Gas– und Elektronentemperatur sowie Elektronendichte werden diskutiert.