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P: Plasmaphysik

P 29: Diagnostik (Poster)

P 29.27: Poster

Tuesday, March 10, 1998, 16:00–18:00, P 2

Testwellendiagnostik und Emissionsspektroskopie an einer Oberflächenwellenentladung — •Marc Böke und Gerhard Himmel — Institut für Experimentalphysik II , Ruhr–Universität Bochum

In einem zylindrischen Entladungsgefäß (Radius 5 mm) mit Argon als Füllgas (Druck 10-130 Pa) wird ein stationäres, Oberflächenwellenplasma durch HF-Einkoppelung bei der Frequenz 136 MHz erzeugt (Leistung 10-50W, Länge bis zu 1m). Mit Hilfe von Testwellen variabler Frequenz lassen sich Amplituden- und Phasenverteilung längs der Entladungssäule bestimmen. Daraus werden lokal axiale Wellenzahlen ermittelt; aus der Dispersionsbeziehung der Oberflächentestwelle folgt für jeden Ort die querschnittsgemittelte Elektronendichte. Die zur Auswertung benötigten Parameter (Elektronendichte, effektive Stoßfrequenz) ergeben sich aus einer selbstkonsistenten Modellierung der Entladung, die die Lösung der homogenen Boltzmanngleichung und eines Ratengleichungssystemes für die Besetzung der angeregten Ar-Zustände einschließt. Unabhängig davon wird die axiale Verteilung der emittierten Strahlungsintensität ausgesuchter Ar-I-Linien vermessen. Über ein geeignetes Stoß-Strahlungsmodell erhält man auch in diesem Fall Auskunft über das axiale Elektronendichteprofil sowie zusätzlich über den Verlauf der Elektronentemperatur.