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P: Plasmaphysik
P 29: Diagnostik (Poster)
P 29.56: Poster
Tuesday, March 10, 1998, 16:00–18:00, P 2
Bestimmung der Dichte negativer Sauerstoff-Ionen in einer 13,56 MHz RF-Entladung — •T. Sturm, H.-M. Katsch, E. Quandt, and H.F. D"obele — Institut f"ur Laser- und Plasmaphysik, Universit"at GH Essen, Universit"atsstr. 5, D-45117 Essen
In einer Sauerstoff-RF-Entladung (GEC-reference-cell) wird mittels
Photodetachment der negativen Sauerstoff-Ionen in der Umgebung einer
zylindrischen Langmuir-Sonde die Dichte der O−-Ionen bestimmt. Als
Strahlungsquelle f"ur das Photodetachment wird ein Nd:YAG-Laser mit
Frequenzverdopplung (λ=532 nm, Emax=300 mJ) verwendet.
Es zeigt sich, da"s die Dichte der negativen Sauerstoff-Ionen bei
konstanter RF-Anregungsspannung in einem Druckbereich von 10-100 Pa
nur gering vom Druck abh"angt. Bei konstantem Druck und Erh"ohung der
RF-Anregungsspannung steigt die O−-Dichte linear an. Die
Ergebnisse der Messungen lassen sich mit einer Modellrechnung in einem
Druckbereich bis 30 Pa quantitativ und dar"uber hinaus qualitativ
vergleichen.
Dieses Vorhaben wird von der DFG im Rahmen des SFB 191
gef"ordert.