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P: Plasmaphysik

P 29: Diagnostik (Poster)

P 29.57: Poster

Dienstag, 10. März 1998, 16:00–18:00, P 2

Energieaufgelöste Massenspektrometrie an DC - und RF - Entladungen — •V. Kroutilina und H.-E. Wagner — Institut für Physik, Universität Greifswald, Domstrasse 10a, 17489 Greifswald

Mit einem Plasmamonitor der Firma HIDEN Analytical wurde die Energieverteilung der Ionen an der geerdeten Elektrode von DC - Entladungen gemessen, welche als Anode bzw. Katode der anomalen Glimmentladung betrieben wurden. Es wird ein Vergleich mit Resultaten bei der Plasmaanregung im Mittelfrequenzbereich (120 kHz) vorgenommen. Die Untersuchungen erfolgten in einer planaren Anordnung (Elektrodendurchmesser 50 mm, Elektrodenabstand 30 mm) im Druckbereich 0.1 ... 0.3 mbar bei Entladungsstromstärken von 1 ... 20 mA. Als Prozessgase dienten Argon und Sauerstoff. Die Ionenenergieverteilungen zeigen charakteristische Maxima und Ionengruppen, die u.a. mit der Katodenfall- bzw. Anodenfallspannung korrespondieren. Das j / p² - Ähnlichkeitsgesetz der anomalen Glimmentladung wird im erfassten Bereich auch für die über die Energieskala integrierten Ionenstromdichten bestätigt. Es werden erste Resultate über den Nachweis von CH₂ - und CH₃ - Radikalen in Argon / Methan -Entladungen vorgestellt.